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film黄光制程平行曝光机系统有哪些特点及参数？
发布时间：2022-07-22 08:53:48 人气：
平行曝光机系统有哪些特点及参数？相信不少人是有疑问的，今天东莞正凯机电就跟大家解答一下！
平行曝光机专门用于film黄光制程而设计制作的专用设备，系统采用进口平行光源、双工位抽屉进出曝光平台交替工作进行film湿膜、干膜曝光。双工位平台真空吸附将film与mask贴紧。
平行曝光机设备规格以及主要技术指标
◆产品规格:有效曝光面积400mm x 500mm
曝光平台面积> 500mm x 600mm
◆电源: ac380v 3f 50hz 7kva
◆机台外尺寸: w1350mm x l3250mm x h2350mm
◆曝光方式:单面曝光，玻璃vs玻璃x 2组，采用电磁锁控制
◆曝光灯管: 5kw x 1pcs(平行光曝光灯) 曝光光强> 20mw/cm，灯管保用800h
◆光学系统:采用进口曲面mirror反射光学系统
◆真空系统: 400mmhg以上
◆曝光精度:线路宽30um，线间距30um
◆点灯计时:配置时间计时器，可清零
◆平台平面精度: 0.02mm内
